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SuperView W3 非接觸光學(xué)輪廓儀可對(duì)測(cè)試樣品的表面微納形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析，具有測(cè)量準(zhǔn)確度高、應(yīng)用范圍廣、智能化水平高等特點(diǎn)。產(chǎn)品經(jīng)深圳市計(jì)量質(zhì)量檢測(cè)研究院計(jì)量校準(zhǔn)，技術(shù)指標(biāo)參數(shù)滿足相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)要求。

中圖儀器光學(xué)3d表面輪廓儀能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質(zhì)量檢測(cè)，不管是光滑或粗糙、平面或異形結(jié)構(gòu)，當(dāng)測(cè)量超出適配鏡頭下的單視場(chǎng)區(qū)域時(shí)，都可以采用自動(dòng)拼接，根據(jù)不同表面特點(diǎn)進(jìn)行重建算法的切換，無(wú)論何種形貌，都可生成“天衣無(wú)縫”的3D全景。

3D形貌地圖配合色譜圖，非常直觀；但橫向測(cè)試范圍，縱向高度尺度也很關(guān)鍵。中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SuperView W1光學(xué)3d輪廓儀用于測(cè)量精密工件的微納米三維形貌一鍵測(cè)量，自動(dòng)拼接功能能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域、高精度的測(cè)量。

中圖儀器SuperView W1光學(xué)輪廓儀是一款以白光干涉技術(shù)為原理，用于進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。對(duì)工件表面進(jìn)行非接觸式掃描同時(shí)建立表面3D圖像，通過(guò)系統(tǒng)軟件的數(shù)據(jù)處理與分析，獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面微納米三維形貌的一鍵測(cè)量。

3d光學(xué)輪廓儀檢測(cè)儀器質(zhì)量推薦中圖儀器，可以測(cè)量各種工件表面的粗糙度、平面度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析，是可以測(cè)量粗糙度的3d光學(xué)輪廓儀一體機(jī)。提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，結(jié)合測(cè)量中提供的自動(dòng)測(cè)量和批量測(cè)量功能，可實(shí)現(xiàn)對(duì)小尺寸精密器件的批量測(cè)量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。

中圖儀器的SuperView W1 非接觸3d光學(xué)輪廓儀用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量，廣泛應(yīng)用于3C電子玻璃屏及其精密配件、半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、汽車零部件、微納材料及制造、光學(xué)加工、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。