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3d光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x可自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，能達(dá)到微型范圍內(nèi)重點(diǎn)部位的納米級(jí)粗糙度、輪廓等參數(shù)的測(cè)量。廣泛應(yīng)用于如納米材料、航空航天、半導(dǎo)體等各類(lèi)精密工件表面質(zhì)量要求高的領(lǐng)域中。

SuperViewW1光學(xué)輪廓儀器廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測(cè)量。具有測(cè)量精度高、功能全面、操作便捷、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精密器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以?xún)?nèi)，確保了高款率檢測(cè)。

SuperViewW1光學(xué)表面輪廓測(cè)量?jī)x對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行高品質(zhì)監(jiān)控時(shí)不需要取下產(chǎn)品或停止生產(chǎn)，而且采用的是非接觸式光學(xué)測(cè)量，在獲得實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)的同時(shí)，不會(huì)對(duì)產(chǎn)品造成任何損傷，從而有效節(jié)約了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率，并且在線(xiàn)檢測(cè)，沒(méi)有滯后性，從而減少不合格品，對(duì)表面缺陷檢測(cè)亦如此。

SuperViewW1表面光學(xué)輪廓儀在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等領(lǐng)域，表面光學(xué)輪廓儀可以提供更高精度的檢測(cè)需求。還可以用自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能，在樣品表面抽取多個(gè)測(cè)量區(qū)域進(jìn)行測(cè)量，從而對(duì)樣品進(jìn)行評(píng)估分析?？梢蕴峁└呔鹊臋z測(cè)需求。

隨著白光干涉測(cè)量技術(shù)的發(fā)展和完善，白光干涉儀已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用。在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等領(lǐng)域，中圖的光學(xué)式表面粗糙度輪廓儀可以提供更高精度的檢測(cè)需求。

中圖SuperView W1 3d光學(xué)輪廓儀檢測(cè)儀器設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)基于無(wú)限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng)。通過(guò)干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮孑喞獌x。各類(lèi)干涉物鏡還決定了系統(tǒng)很多關(guān)鍵性能，如光學(xué)分辨率，工作距離，齊焦距離，坡度能力，視場(chǎng)范圍等等。中圖儀器提供豐富的各類(lèi)物鏡選擇，以滿(mǎn)足最挑戰(zhàn)的測(cè)試需求。