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3d光學(xué)干涉輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中，對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

中圖儀器SJ5730接觸式3D輪廓儀是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的測量儀器，該儀器具有12mm的粗糙度測量范圍，分辨率達到1nm，適合測量大曲面上的表面粗糙度，同時具備軸承輪廓度評價功能，能夠滿足軸承行業(yè)的測量需求。

SuperViewW1光學(xué)三維輪廓儀采用白光干涉技術(shù)，結(jié)合具有抗噪性能的3D重建算法，具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。

SJ5730高精度輪廓度測量儀是測量各種機械零件素線形狀和截面輪廓形狀的精密設(shè)備。該儀器工作臺采用高精度的橫向氣浮道軌和滾動垂直道軌，移動精度高、穩(wěn)定性好、壽命長；測量效率高、操作簡單、適用于車間檢測站或計量室使用。

SuperViewW1輪廓度光學(xué)測量儀由照明光源系統(tǒng)，光學(xué)成像系統(tǒng)，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。針對芯片封裝測試流程的測量需求，SuperViewW1非接觸式光學(xué)輪廓測量儀的X/Y方向標準行程為140*100mm，滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高等微納米級別精度的測量。而SuperViewW1-Pro 型號增大了測量范圍，可覆蓋8英寸及以下晶圓，定

SJ5800中圖接觸式輪廓儀可以對零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實現(xiàn)一次掃描測量，尤其是大范圍曲面、斜面進行粗糙度檢測，如圓弧面和球面、異型曲面進行多種粗糙度參數(shù)、微觀輪廓度參數(shù)的測量。同時儀器還可對各種精密零件輪廓度、波紋度進行測量，對形狀參數(shù)進行分析。