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SuperViewW1三維白光輪廓儀以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

SJ5730-100高精密輪廓測量儀是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的測量儀器。可廣泛應用于精密機械加工、汽車、軸承、機床、模具、精密五金、光學加工等行業(yè)。該儀器可以對零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實現(xiàn)一次掃描測量，尤其是大范圍曲面、斜面進行粗糙度檢測，如圓弧面和球面、異型曲面進行多種粗糙度參數(shù)、微觀輪廓度參數(shù)的測量。同時儀器還可對各種精密零件輪廓度、波紋度進行測量，對形狀參數(shù)進行分析。

SuperViewW1光學輪廓儀白光干涉儀能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

SuperViewW1-Pro三維輪廓形貌測量儀是以白光干涉技術為原理的一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器?？梢詼y到12mm，也可以測到更小的尺寸，XY載物臺標準行程為200×200㎜，局部位移精度可達亞微米級別，Z向掃描電機可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達0.1nm級別，因此可測非常微小尺寸的器件。

中圖儀器大量程輪廓測量儀是測量各種機械零件素線形狀和截面輪廓形狀的精密設備。該儀器工作臺采用高精度的橫向氣浮道軌和滾動垂直道軌，移動精度高、穩(wěn)定性好、壽命長；測量效率高、操作簡單、適用于車間檢測站或計量室使用。

SuperViewW1三維光學輪廓儀除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。是目前三維形貌測量領域高精度的檢測儀器之一。