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中圖儀器VT6000共聚焦顯微鏡大坡度成像更清晰，它以針孔共聚焦技術(shù)為原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測，對大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果，在滿足精度的情況下使用場景更具有兼容性。

以共聚焦技術(shù)為原理的共聚焦顯微鏡?，是用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量的檢測儀器。VT6000系列3d共聚焦顯微鏡基于共聚焦顯微技術(shù)，在材料生產(chǎn)檢測領(lǐng)域中能對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

中圖儀器VT6000共聚焦顯微鏡品牌是一款在材料領(lǐng)域中，用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量的光學(xué)檢測儀器。采用全電動(dòng)化設(shè)計(jì)，并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換，圖像視窗和分析視窗同界面的設(shè)計(jì)風(fēng)格，實(shí)現(xiàn)了所見即所得的快速檢測效果。

中圖儀器VT6000系列激光共聚焦掃描顯微鏡配備了真彩相機(jī)并提供還原的3D真彩圖像，對細(xì)節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn)。儀器采用自研的電動(dòng)鼻輪塔臺(tái)，并對軟件防撞設(shè)置與硬件傳感器防撞設(shè)置功能進(jìn)行了優(yōu)化，確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時(shí)也能應(yīng)對。

中圖儀器VT6000激光共聚焦光學(xué)顯微鏡采用全電動(dòng)化設(shè)計(jì)，并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換，圖像視窗和分析視窗同界面的設(shè)計(jì)風(fēng)格，實(shí)現(xiàn)了所見即所得的快速檢測效果。主要用于對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

VT6000轉(zhuǎn)盤共聚焦掃描顯微鏡儀器整體由一臺(tái)輕量化的設(shè)備主機(jī)和電腦構(gòu)成，控制單元集成在設(shè)備主機(jī)之內(nèi)，亦可采用筆記本電腦驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了“拎著走”的便攜式設(shè)計(jì)；采用自研的電動(dòng)鼻輪塔臺(tái)，并對軟件防撞設(shè)置與硬件傳感器防撞設(shè)置功能進(jìn)行了優(yōu)化，在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時(shí)也能應(yīng)對。