<fieldset id="8iw9w"></fieldset>
<samp id="8iw9w"><acronym id="8iw9w"></acronym></samp>
  • 
    
    1. <samp id="8iw9w"></samp>
    2. <mark id="8iw9w"><label id="8iw9w"><li id="8iw9w"></li></label></mark>
    3. <center id="8iw9w"></center>

      在线精品国精品国产尤物_亚洲国产精品无码专区_久久久久99精品成人片欧美_久久精品国产99久久丝袜_欧美色精品人妻在线视频

      歡迎來到深圳市中圖儀器股份有限公司網(wǎng)站!
      咨詢電話:18928463988
      Products產(chǎn)品中心
      首頁 > 產(chǎn)品中心 > 顯微測量儀 > 臺階儀 > NS200國產(chǎn)臺階儀測粗糙度

      國產(chǎn)臺階儀測粗糙度

      簡要描述:NS系列國產(chǎn)臺階儀測粗糙度應用場景適應性強,其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,能夠廣泛應用于半導體、太陽能光伏、光學加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位,其對表面微觀形貌參數(shù)的準確表征,對于相關材料的評定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。

      • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
      • 更新時間:2025-03-09
      • 訪  問  量:755

      詳細介紹

      品牌中圖儀器產(chǎn)地國產(chǎn)
      加工定制

      NS系列臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀,主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在ITO導電薄膜厚度的測量上具有很強的優(yōu)勢。針對測量ITO導電薄膜的應用場景,NS200臺階儀提供如下便捷功能:

      1)結合了360°旋轉臺的全電動載物臺,能夠快速定位到測量標志位;

      2)對于批量樣件,提供自定義多區(qū)域測量功能,實現(xiàn)一鍵多點位測量;

      3)提供SPC統(tǒng)計分析功能,直觀分析測量數(shù)值變化趨勢;

      國產(chǎn)臺階儀測粗糙度

      結構(主要組成部分)

      1、測量系統(tǒng)

      (1)單拱龍門式設計,結構穩(wěn)定性好,而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。

      (2)線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。

      (3)傳感器設計使得在單一平臺上即可實現(xiàn)超微力和正常力測量。測力恒定可調(diào),以適應硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設計和微小電磁力控制,實現(xiàn)無接觸損傷的精準接觸式測量。

      2、工件臺

      (1)精密的XY平臺結合360°連續(xù)旋轉電動旋轉臺,可以對樣品的位置以及角度進行調(diào)節(jié),三維位置均可以調(diào)節(jié),利于樣品調(diào)整。

      (2)超高直線度導軌,有效避免運動中的細微抖動,提高掃描精度,真是反映工件微小形貌。

      3、成像系統(tǒng)

      500萬像素高分辨率彩色攝像機,即時進行高精度定位測量??梢詫⑻结樀男蚊矆D像傳輸?shù)娇刂齐娔X上,使得測量更加直觀。

      4、軟件系統(tǒng)

      測量軟件包含多個模塊。

      5、減震系統(tǒng)

      防止微小震動對測量結果的影響,使實驗數(shù)據(jù)更加準確。

      國產(chǎn)臺階儀測粗糙度

      NS系列國產(chǎn)臺階儀測粗糙度應用場景適應性強,其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,能夠廣泛應用于半導體、太陽能光伏、光學加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位,其對表面微觀形貌參數(shù)的準確表征,對于相關材料的評定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。


      產(chǎn)品功能

      1.參數(shù)測量功能

      1)臺階高度:能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度,可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料;

      2)粗糙度與波紋度:能夠測量樣品的粗糙度和波紋度,分析軟件通過計算掃描出的微觀輪廓曲線,可獲取粗糙度與波紋度相關的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余項參數(shù);

      3)翹曲與形狀:能夠測量樣品表面的2D形狀或翹曲,如在半導體晶圓制造過程中,因多層沉積層結構中層間不匹配所產(chǎn)生的翹曲或形狀變化,或者類似透鏡在內(nèi)的結構高度和曲率半徑。

      2.數(shù)采與分析系統(tǒng)

      1)自定義測量模式:支持用戶以自定義輸入坐標位置或相對位移量的方式來設定掃描路徑的測量模式;

      2)導航圖智能測量模式:支持用戶結合導航圖、標定數(shù)據(jù)、即時圖像以智能化生成移動命令方式來實現(xiàn)掃描的測量模式。

      3)SPC統(tǒng)計分析:支持對不同種類被測件進行多種指標參數(shù)的分析,針對批量樣品的測量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計數(shù)據(jù)的變化趨勢。

      3.光學導航功能

      NS系列國產(chǎn)臺階儀測粗糙度配備了500W像素的彩色相機,可實時將探針掃描軌跡的形貌圖像傳輸?shù)杰浖酗@示,進行即時的高精度定位測量。

      4.樣品空間姿態(tài)調(diào)節(jié)功能

      配備了精密XY位移臺、360°電動旋轉平臺和電動升降Z軸,可對樣品的XYZ、角度等空間姿態(tài)進行調(diào)節(jié),提高測量精度及效率。


      產(chǎn)品應用

      國產(chǎn)臺階儀測粗糙度

      測量晶圓

      國產(chǎn)臺階儀測粗糙度


      部分技術指標

      型號NS200
      測量技術探針式表面輪廓測量技術
      樣品觀察光學導航攝像頭:500萬像素高分辨率 彩色攝像機,FoV,2200*1700μm
      探針傳感器
      超低慣量,LVDC傳感器
      平臺移動范圍X/Y電動X/Y(150mm*150mm)(可手動校平)
      單次掃描長度55mm
      樣品厚度50mm
      載物臺晶圓尺寸150mm(6吋),200mm(8吋)
      臺階高度重復性5 ?, 量程為330μm時/ 10 ?, 量程為1mm時(測量1μm臺階高度,1δ)
      尺寸(L×W×H)mm640*626*534
      重量40kg
      儀器電源100-240 VAC,50/60 Hz,200W

      使用環(huán)境

      相對濕度:濕度 (無凝結)30-40% RH

      溫度:16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)

      地面振動:6.35μm/s(1-100Hz)

      音頻噪音:≤80dB

      空氣層流:≤0.508 m/s(向下流動)

      懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

      如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。

      產(chǎn)品咨詢

      留言框

      • 產(chǎn)品:

      • 您的單位:

      • 您的姓名:

      • 聯(lián)系電話:

      • 常用郵箱:

      • 省份:

      • 詳細地址:

      • 補充說明:

      • 驗證碼:

        請輸入計算結果(填寫阿拉伯數(shù)字),如:三加四=7
      深圳市中圖儀器股份有限公司
      • 聯(lián)系人:羅健
      • 地址:深圳市南山區(qū)西麗學苑大道1001號南山智園
      • 郵箱:sales@chotest.com
      • 傳真:86-755-83312849
      關注我們

      歡迎您關注我們的微信公眾號了解更多信息

      掃一掃
      關注我們
      版權所有 © 2025 深圳市中圖儀器股份有限公司 All Rights Reserved    備案號:粵ICP備12000520號    sitemap.xml
      管理登陸    技術支持:儀表網(wǎng)    
      国产肥熟女视频一区二区三区_亚洲国产精品无码专区_久久久久99精品成人片欧美_久久精品国产99久久丝袜

      <fieldset id="8iw9w"></fieldset>
      <samp id="8iw9w"><acronym id="8iw9w"></acronym></samp>
    4. 
      
      1. <samp id="8iw9w"></samp>
      2. <mark id="8iw9w"><label id="8iw9w"><li id="8iw9w"></li></label></mark>
      3. <center id="8iw9w"></center>