SJ6000光學(xué)干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，以光波為載體，其光波波長可以直接對(duì)米進(jìn)行定義，且可以溯源至國家標(biāo)準(zhǔn)，是高精度、高靈敏度的測(cè)量儀器。測(cè)量分辨率可達(dá)0.01″，系統(tǒng)測(cè)量精度為±1″，基準(zhǔn)WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)精度為0.2″。主要由SJ6000激光干涉儀主機(jī)、角度鏡組、WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)、SJ6000回轉(zhuǎn)軸測(cè)量軟件構(gòu)成。

產(chǎn)品功能

(1)可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量；

(2)可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

(3)可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)；

(4)可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

(5)具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

(6)支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

精度高

SJ6000光學(xué)干涉儀采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

激光干涉儀對(duì)機(jī)床運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌和滾珠絲桿的各項(xiàng)參數(shù)檢測(cè)分析、校準(zhǔn)補(bǔ)償?shù)闹匾?，而機(jī)床在裝配、加工、生產(chǎn)的同時(shí)需要頻繁的使用到激光干涉儀，來進(jìn)行多種幾何量精度參數(shù)的測(cè)量以及動(dòng)態(tài)性能的測(cè)試、分析。從宏觀角度來講，激光干涉儀對(duì)機(jī)床工具產(chǎn)業(yè)乃至整個(gè)制造工業(yè)的升級(jí)，都是功不可沒的。