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VT6000材料3D形貌共聚焦測(cè)量顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密縱向掃描，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量?？蓽y(cè)各類(lèi)包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖國(guó)產(chǎn)臺(tái)階儀品牌NS系列主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。它采用了線性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級(jí)的分辨率，同時(shí)，其集成了超低噪聲信號(hào)采集、超精細(xì)運(yùn)動(dòng)控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測(cè)量精度和測(cè)量重復(fù)性。

CEM3000系列毫米級(jí)超大景深臺(tái)式掃描電鏡是用于對(duì)樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測(cè)和分析的緊湊型設(shè)備。其空間分辨率出色和易用性強(qiáng)，用戶(hù)能夠非?？旖莸剡M(jìn)行各項(xiàng)操作。甚至在自動(dòng)程序的幫助下，無(wú)需過(guò)多人工調(diào)節(jié)，便可一鍵得到理想的拍攝圖片。

在不改變整機(jī)外觀尺寸的情況下，中圖儀器CEM3000大樣品倉(cāng)型臺(tái)式掃描電鏡拓展了樣品倉(cāng)尺寸，從而可對(duì)大尺寸樣品或多個(gè)常規(guī)尺寸樣品進(jìn)行分析。它無(wú)需占據(jù)大量空間來(lái)容納整個(gè)電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶(hù)日常工作的桌面上，在用戶(hù)手邊實(shí)時(shí)呈現(xiàn)所得結(jié)果。此外，該系列臺(tái)式電鏡也可以進(jìn)入手套箱、車(chē)廂還是潛水器等狹小空間內(nèi)大顯身手。

SuperViewW白光干涉表面形貌3D測(cè)量?jī)x利用光學(xué)干涉原理研制開(kāi)發(fā)的超精細(xì)表面輪廓測(cè)量?jī)x器，主要用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量。

VT6000非接觸式3D共聚焦顯微系統(tǒng)以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，在相同物鏡放大的條件下，所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰更微細(xì)，橫向分辨率更高。