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CEM3000系列國(guó)產(chǎn)臺(tái)式掃描電鏡儀器外型緊湊，空間適用性強(qiáng)，整機(jī)采用大量的抗干擾設(shè)計(jì)，避免使用環(huán)境造成的影響，拓寬了應(yīng)用范圍。同時(shí)，該系列臺(tái)式電鏡具有非常豐富的自動(dòng)調(diào)節(jié)功能，能夠?qū)Σ煌?lèi)型的樣品進(jìn)行觀(guān)測(cè)，具有高空間分辨率。

NS系列納米級(jí)臺(tái)階高度儀線(xiàn)性可變差動(dòng)電容傳感器（LVDC），具有亞埃級(jí)分辨率，13μm量程下可達(dá)0.01埃。高信噪比和低線(xiàn)性誤差，使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺(tái)階的形貌特征。主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀(guān)形貌參數(shù)的測(cè)量。

SuperViewW白光干涉三維形貌輪廓儀納米級(jí)分辨率，非接觸式測(cè)量各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

中圖儀器CEM3000臺(tái)式掃描電子顯微鏡是一款用于對(duì)樣品進(jìn)行微觀(guān)尺度形貌觀(guān)測(cè)和分析的緊湊型設(shè)備。儀器操作簡(jiǎn)便，樣品一鍵裝入，自動(dòng)導(dǎo)航和一鍵出圖能力（自動(dòng)聚焦+自動(dòng)消像散+自動(dòng)亮度對(duì)比度）幫助用戶(hù)在短短幾十秒內(nèi)就可獲取高清圖像，大大提升了使用效率。

SuperViewW1白光干涉三維表面測(cè)量系統(tǒng)以3D非接觸方式，測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。它集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦、找條紋等測(cè)量前工作。

CEM3000一鍵自動(dòng)聚焦掃描電鏡空間分辨率出色和易用性強(qiáng)，用戶(hù)能夠非?？旖莸剡M(jìn)行各項(xiàng)操作。甚至在自動(dòng)程序的幫助下，無(wú)需過(guò)多人工調(diào)節(jié)，便可一鍵得到理想的拍攝圖片。