產(chǎn)品分類
Product CategorySuperViewW1白光干涉微納米三維形貌一鍵測(cè)量?jī)x以白光干涉技術(shù)為原理,獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn),適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型,讓3D測(cè)量變得簡(jiǎn)單。
VT6000共聚焦陡峭角度測(cè)量顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理,用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測(cè),可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。對(duì)大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果,在滿足精度的情況下使用場(chǎng)景更具有兼容性。
NS系列中圖國(guó)產(chǎn)臺(tái)階膜厚儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量?jī)x器,主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。它是利用光學(xué)干涉原理,通過(guò)測(cè)量膜層表面的臺(tái)階高度來(lái)計(jì)算出膜層的厚度,具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。它可以測(cè)量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等。
中圖儀器SuperViewW白光三維測(cè)量系統(tǒng)基于白光干涉原理,能以3D非接觸方式對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量。測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。
VT6000三維共聚焦白光顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理,結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測(cè),可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。
中圖儀器VT6000共聚焦超分辨顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理,結(jié)合精密縱向掃描,以在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測(cè),可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。
歡迎您關(guān)注我們的微信公眾號(hào)了解更多信息
微信掃一掃