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NS系列接觸式膜層厚度臺(tái)階儀采用接觸式測(cè)量方式，主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。采用了線性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級(jí)的分辨率，同時(shí)，其集成了超低噪聲信號(hào)采集、超精細(xì)運(yùn)動(dòng)控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測(cè)量精度和測(cè)量重復(fù)性。

VT6000共軛共焦顯微鏡測(cè)量技術(shù)基于光學(xué)共軛共焦原理，以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法，共同組成測(cè)量系統(tǒng)。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測(cè)，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。

VT6000系列3D微觀形貌共聚焦顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密縱向掃描，3D 建模算法等，對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量。對(duì)大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果，在滿足精度的情況下使用場(chǎng)景更具有兼容性。

NS系列納米測(cè)厚臺(tái)階儀測(cè)量臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)時(shí)，采用了線性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級(jí)的分辨率，同時(shí)，其集成了超低噪聲信號(hào)采集、超精細(xì)運(yùn)動(dòng)控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測(cè)量精度和測(cè)量重復(fù)性。

SuperViewW1白光干涉微納米三維形貌一鍵測(cè)量?jī)x以白光干涉技術(shù)為原理，獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn)，適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型，讓3D測(cè)量變得簡(jiǎn)單。

VT6000共聚焦陡峭角度測(cè)量顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理，用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測(cè)，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。對(duì)大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果，在滿足精度的情況下使用場(chǎng)景更具有兼容性。