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中圖儀器SuperView W1光學輪廓儀是一款以白光干涉技術(shù)為原理，用于進行亞納米級測量的檢測儀器。對工件表面進行非接觸式掃描同時建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件的數(shù)據(jù)處理與分析，獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面微納米三維形貌的一鍵測量。

3d光學輪廓儀檢測儀器質(zhì)量推薦中圖儀器，可以測量各種工件表面的粗糙度、平面度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況等表面形貌特征進行測量和分析，是可以測量粗糙度的3d光學輪廓儀一體機。提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，結(jié)合測量中提供的自動測量和批量測量功能，可實現(xiàn)對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。

中圖儀器的SuperView W1 非接觸3d光學輪廓儀用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量，廣泛應用于3C電子玻璃屏及其精密配件、半導體制造及封裝工藝檢測、汽車零部件、微納材料及制造、光學加工、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

SuperViewW1-Pro光學三維表面輪廓儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等精密加工行業(yè)及航空航天、工、科研院所等領(lǐng)域中。

SJ5800國內(nèi)粗糙度輪廓一體測量儀采用超高精度納米衍射光學測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導軌、高性能直流伺服驅(qū)動系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，可以對零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實現(xiàn)一次掃描測量。

表面輪廓形貌儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。