XL激光頭射出的頻率為f0,經(jīng)過反射鏡反射回來到激光頭內(nèi)的探測器，當反射鏡不動時，其反射波頻率fr=f0。當反射鏡以v=dx/dt的速度沿線性軸遠離或者靠近激光頭時，因為光程增加或減少了2vt，反射波fr的數(shù)值會減少或增加2v/λ0，λ0為激光波長。

　　機床激光干涉儀的性能特點都有哪些呢？

　　1、激光穩(wěn)頻精度通過熱控制技術(shù)將激光管長度變化控制在幾納米范圍內(nèi)，達到3年內(nèi)精度保持在±0.05ppm（百萬分之一）。

　　2、線性測量精度在整個環(huán)境范圍內(nèi)，即從0℃-40℃（32F-104F）和650毫巴-1150毫巴的范圍內(nèi)，精度為±0.5ppm。可以高達50kHZ頻率讀取數(shù)據(jù)，高線性測量速度可達4m/s，即使在高速度下線性分辨率仍可達1nm。

　　3、儀器內(nèi)置的USB意味著激光系統(tǒng)與計算機之間無需單獨的接口。

　　4、激光頭前部的一排LED狀態(tài)指示燈顯示激光狀態(tài)和信號強度，相當于將屏幕軟件上的“狀態(tài)顯示”擴展到激光頭上。

　　5、可以在標準(40m)和長(80m)距離模式之間切換。

　　6、模擬I/O端口允許模擬信號輸出和觸發(fā)信號輸入。

　　7、預熱時間少于6分鐘；外接開關(guān)電源允許輸入電壓在90V-264V之間變化。

　　8、六種測量維度，機床激光干涉儀系統(tǒng)不僅可以進行線性、角度、直線度、回轉(zhuǎn)軸、平面度以及垂直度的測量，還可用于機器振動、頻譜分析、運動速度及角速度測量分析等動態(tài)場合。它廣泛應用在數(shù)控機床及坐標測量機精度檢測、計量器具（包括部分光學儀器）的溯源檢定及其他大范圍、高精度、高速動態(tài)測量等工業(yè)領(lǐng)域。