XL激光頭射出的頻率為f0,經(jīng)過反射鏡反射回來到激光頭內(nèi)的探測器，當(dāng)反射鏡不動(dòng)時(shí)，其反射波頻率fr=f0。當(dāng)反射鏡以v=dx/dt的速度沿線性軸遠(yuǎn)離或者靠近激光頭時(shí)，因?yàn)楣獬淘黾踊驕p少了2vt，反射波fr的數(shù)值會(huì)減少或增加2v/λ0，λ0為激光波長。

　　機(jī)床激光干涉儀的性能特點(diǎn)都有哪些呢？

　　1、激光穩(wěn)頻精度通過熱控制技術(shù)將激光管長度變化控制在幾納米范圍內(nèi)，達(dá)到3年內(nèi)精度保持在±0.05ppm（百萬分之一）。

　　2、線性測量精度在整個(gè)環(huán)境范圍內(nèi)，即從0℃-40℃（32F-104F）和650毫巴-1150毫巴的范圍內(nèi)，精度為±0.5ppm?？梢愿哌_(dá)50kHZ頻率讀取數(shù)據(jù)，高線性測量速度可達(dá)4m/s，即使在高速度下線性分辨率仍可達(dá)1nm。

　　3、儀器內(nèi)置的USB意味著激光系統(tǒng)與計(jì)算機(jī)之間無需單獨(dú)的接口。

　　4、激光頭前部的一排LED狀態(tài)指示燈顯示激光狀態(tài)和信號(hào)強(qiáng)度，相當(dāng)于將屏幕軟件上的“狀態(tài)顯示”擴(kuò)展到激光頭上。

　　5、可以在標(biāo)準(zhǔn)(40m)和長(80m)距離模式之間切換。

　　6、模擬I/O端口允許模擬信號(hào)輸出和觸發(fā)信號(hào)輸入。

　　7、預(yù)熱時(shí)間少于6分鐘；外接開關(guān)電源允許輸入電壓在90V-264V之間變化。

　　8、六種測量維度，機(jī)床激光干涉儀系統(tǒng)不僅可以進(jìn)行線性、角度、直線度、回轉(zhuǎn)軸、平面度以及垂直度的測量，還可用于機(jī)器振動(dòng)、頻譜分析、運(yùn)動(dòng)速度及角速度測量分析等動(dòng)態(tài)場合。它廣泛應(yīng)用在數(shù)控機(jī)床及坐標(biāo)測量機(jī)精度檢測、計(jì)量器具（包括部分光學(xué)儀器）的溯源檢定及其他大范圍、高精度、高速動(dòng)態(tài)測量等工業(yè)領(lǐng)域。