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2020年12月24日，中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)“科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)”頒獎(jiǎng)儀式在杭州舉行，中圖儀器申報(bào)的“基于熱穩(wěn)頻控制的高精度多參量激光干涉儀研制與產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目榮獲2020年中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)。
中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)是經(jīng)國(guó)家科技部批準(zhǔn)，在國(guó)家科技獎(jiǎng)勵(lì)主管部門注冊(cè)，經(jīng)國(guó)家科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)勵(lì)工作辦公室頒證，由中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)設(shè)立的面向全國(guó)儀器儀表領(lǐng)域的綜合性獎(jiǎng)項(xiàng)，表彰在儀器儀表科技工作中做出突出貢獻(xiàn)的單位和個(gè)人，鼓勵(lì)自主創(chuàng)新、團(tuán)結(jié)協(xié)作，促進(jìn)科學(xué)研究、技術(shù)開發(fā)與社會(huì)發(fā)展密切結(jié)合，促進(jìn)科技成果轉(zhuǎn)化，提高我國(guó)儀器儀表的綜合實(shí)力和水平。
本項(xiàng)目SJ6000激光干涉儀具有完整的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，穩(wěn)頻精度≤0.04ppm，測(cè)量精度0.5ppm,大測(cè)量距離80米，技術(shù)指標(biāo)達(dá)到先進(jìn)水平。
SJ6000激光干涉儀可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等多幾何參量的高精密測(cè)量，用于檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、自動(dòng)化設(shè)備、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等，以及進(jìn)行數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的精度補(bǔ)償。
SJ6000激光干涉儀滿足了我國(guó)各級(jí)計(jì)量院所、精密加工制造、先進(jìn)數(shù)控機(jī)床、精密儀器等領(lǐng)域在高精度和大量程長(zhǎng)度測(cè)量方面的需求，提升了我國(guó)自主的高精密激光測(cè)量水平和計(jì)量檢定裝備的水平。
不忘鑄器初心，牢記圖強(qiáng)使命，中圖儀器持續(xù)投資研發(fā)極小和極大尺寸的ODS超精密光學(xué)儀器，為3C電子、泛半導(dǎo)體業(yè)和大型裝備制造業(yè)提供自主可控的關(guān)鍵技術(shù)設(shè)備。
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