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?SuperViewW1三維白光干涉形貌儀支持納米級(jí)高度測(cè)量，0.4μm級(jí)別的線寬測(cè)量，最大支持80倍的槽深寬比測(cè)量，具備點(diǎn)、線、面相關(guān)的寬度、高度、角度、直徑等各類輪廓尺寸測(cè)量功能。

SuperViewW3大尺寸微觀形貌儀白光干涉測(cè)量各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、高?？蒲性核阮I(lǐng)域中。

中圖儀器W1國(guó)產(chǎn)白光干涉儀可以對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

SuperViewW1白光干涉測(cè)量?jī)x在鏡頭的上方安裝有機(jī)械防撞傳感器，避免鏡頭和樣品的損傷，雙重防護(hù)，守護(hù)設(shè)備和產(chǎn)品。

中圖儀器SuperViewW1白光表面干涉儀分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，通過(guò)測(cè)量干涉條紋的變化來(lái)測(cè)量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測(cè)量。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡(jiǎn)便，可自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。

SuperView W1白光干涉儀檢測(cè)設(shè)備分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，可以進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像的測(cè)量過(guò)程，通過(guò)系統(tǒng)軟件分析器件表面3D圖像并進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，實(shí)現(xiàn)了器件表面形貌3D測(cè)量的效率高與簡(jiǎn)化性。